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電子廠廢水處理工藝流程圖講解(電子廠污水處理工藝|方法)
對于低有機物含磷酸廢液,其中僅含有無機酸和有價金屬陽離子。向該廢液中添加雙氧水氧化后,采用無機碳化硅陶瓷膜超濾去除懸浮物
產品類別: 電子廠廢水處理工藝流程圖講解(電子廠污水處理工藝|方法)
產品名稱: 電子廠廢水處理工藝流程圖講解(電子廠污水處理工藝|方法)
更新時間: 2022-11-29 10:34:21
產品型號: 對于低有機物含磷酸廢液,其中僅含有無機酸和有價金屬陽離子。向該廢液中添加雙氧水氧化后,采用無機碳化硅陶瓷膜超濾去除懸浮物

  電子廠廢水處理工藝流程圖講解(電子廠污水處理工藝|方法)


       電子工業(yè)高速發(fā)展,半導體行業(yè)發(fā)展劇增,相關化學品的需求也逐年增多,電子級磷酸的需求增長顯著。


  電子工業(yè)廢水處理工藝是什么?隨著我國電子工業(yè)的高度發(fā)展,電子工業(yè)廢水處理難度逐漸增加,樂中環(huán)保科技小編和大家一起聊聊電子工業(yè)廢水處理工藝。

  一、電子工業(yè)廢水含磷酸廢液來源

  電子級磷酸又被稱為超高純磷酸,是磷酸工業(yè)皇冠上的明珠,主要用于芯片的清洗、蝕刻,其潔凈度和純度對電子元器件的性能、可靠性及良品率影響很大,例如,在晶圓的加工過程中,若其被雜質污染,將導致集成電路(IC)的產率下降約50%。

  因此,為了保證產品的可靠性,獲得高產率的大規(guī)模集成電路,電子工業(yè)必須使用高純電子級磷酸進行清洗,并不斷將新電子級磷酸補充到生產過程。隨著集成電路規(guī)模逐年增大,含磷酸廢液產生量不斷上升。

  面板行業(yè)和集成電路行業(yè)是電子工業(yè)的典型代表,電子級磷酸在其中應用廣泛,其實際的使用工藝有所差別,產生的含磷酸廢液有很多不同特性。

  二、電子工業(yè)含磷酸廢液的特點

  面板和集成電路等電子工業(yè)經蝕刻或清洗工藝產生的含磷酸廢液的主要成分仍是磷酸(含量≥50%)、硝酸、醋酸的混合物,其中陽離子主要有鋁、鉬、銀和其他微量金屬離子。

  除有無色透明的以外,該廢液還存在多種顯色形態(tài),如帶灰色懸浮的、淺藍色澄清的等。主要原因是在電子工業(yè)中為了提升磷酸蝕刻或清洗效果,添加了抑制劑、分散劑等有機活性劑成分。

  三、電子工業(yè)廢水含磷酸廢液提純技術

  1、凈化+蒸發(fā)濃縮技術

  對于低有機物含磷酸廢液,其中僅含有無機酸和有價金屬陽離子。向該廢液中添加雙氧水氧化后,采用無機碳化硅陶瓷膜超濾去除懸浮物,再用多效負壓蒸發(fā)將廢磷酸中的揮發(fā)性醋酸、硝酸脫除并濃縮至大于75%,濃縮后的磷酸經沉降再次去除懸浮物,即可滿足《工業(yè)磷酸》(GB/T 2091——2008)的標準,市場價值居于中位。通常只能選擇石墨作為蒸發(fā)設備的材料來應對設備腐蝕,因此設備故障率較高。目前,磷酸凈化+蒸發(fā)提濃的工藝要求較高,多數停留在實驗室階段或由大型磷酸企業(yè)實施,僅有少部分危險廢物處理企業(yè)進行了應用。

  2、萃取提純+蒸發(fā)濃縮技術

  對于有機酸或雜質含量較多的含磷酸廢液,可以選擇多級逆流萃取工藝,由于磷酸與有機萃取相結合力不強,要投入硫酸促進磷酸在萃取段向有機相轉移,并在后端用低濃度稀磷酸進行反萃,后通過100℃左右蒸發(fā)濃縮獲得濃度75%的磷酸,降低對設備腐蝕的要求。利用萃取除雜法處理面板行業(yè)產出的含磷酸廢液,研究證實,磷酸三丁酯/N235/DT-100萃取體系的除雜效果較好,在比較好的條件下,磷酸回收率達到93.80%,硝酸去除率達到82.65%。但以萃取為主的提純工藝多見于大型濕法磷酸企業(yè),主要集中在我國三四線城市,該磷酸凈化技術在危險廢物處理企業(yè)亦不常見。



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